Inficon UL5000 超大抽速氦質(zhì)譜檢漏儀
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產(chǎn)品名稱: Inficon UL5000 超大抽速氦質(zhì)譜檢漏儀
產(chǎn)品型號: Inficon UL5000 Dry Helium Leak Detector
產(chǎn)品展商: Inficon
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
Inficon UL5000 Dry Helium Leak Detector 擁有兩臺渦輪分子泵，具備超大抽速，主要應(yīng)用在半導(dǎo)體管道等大型腔室或超長管道檢漏，Inficon UL5000 超大抽速氦質(zhì)譜檢漏儀對氦氣抽速最大為20L/s, 最小檢測漏率為5E-12 mbar*L/s, 其外觀機械尺寸為1068*530*1083mm, 42.5*21*42.6inch, UL5000重量：140公斤，308磅。
中山共享光電真空技術(shù)有限公司專業(yè)代理UL5000 Dry helium Leak
Inficon UL5000 超大抽速氦質(zhì)譜檢漏儀
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